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在机构调研时,混配气主要是作为蚀刻气体,芯片过程中的蚀刻阶段,二氧化硅非常坚硬,氟气的腐蚀性非常强,通过腐蚀痕迹留在芯片上。此外,稀有气体氦氖氪氙气中氙气贵,特别是航空氙气,纯度越高、价格更高,特别是俄罗斯与乌克兰局势紧张,价格会持续走高。
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