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扫描电子显微镜（SEM）是一种大型精密仪器，它利用电子束和电子透镜代替光束和光学透镜，使物质的细微结构在非常高的放大倍数下成像。在1932年，Knoll提出了扫描电子显微镜（SEM）可以用于成像放大的概念，并在1935年成功制造出了非常原始的模型。然而，由于不能获得高分辨率的样品表面电子像，SEM一直未能得到进一步发展，仅被用作电子探针X射线微分析仪中的辅助成像装置。
直到1938年，德国科学家阿登纳成功研制出台采用缩小透镜用于透射样品的SEM。此后，在众多科学家的努力下，SEM从理论到仪器结构等方面的问题逐渐得到解决。
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1965年，英国剑桥仪器公司生产的台SEM作为商品出现，它采用二次电子成像技术，分辨率为25纳米，使SEM进入了实用阶段。
1968年，Knoll在美国芝加哥大学成功研制出场发射电子枪，并将其应用于SEM，获得了较高分辨率的透射电子像。1970年，他发表了用扫描透射电镜拍摄的铀和钍中的铀原子和钍原子像，这使SEM又进入了一个新的领域。
2021年，全数字化扫描电子显微镜新品在无锡惠山发布，标志着SEM技术的不断发展和进步。
电子信号的显示与记录系统
扫描电镜的图象显示在阴极射线管（显像管）上，并由照相机拍照记录。显像管有两个，一个用来观察，分辨率较低，是长余辉的管子；另一个用来照相记录，分辨率较高，是短余辉的管子。
真空系统及电源系统
扫描电镜的真空系统由机械泵与油扩散泵组成，其作用是使镜筒内达到真空度。电源系统供给各部件所需的特定的电源。新能源公司仪器外校
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